大灣檢測助力國產(chǎn)光刻機(jī)壓縮空氣檢測 助力順利投產(chǎn)

我們的芯片生產(chǎn)受限于人，就如我們咽喉被他人卡住，在自足研發(fā)的道路上，我們沒有停步，一直在努力，做為壓縮空氣檢測人，我們有著20年檢測檢驗，檢測檢驗豐富。

在電子半導(dǎo)體行業(yè)，我們的客戶有富士康電子組裝，手機(jī)噴涂，OLED手機(jī)屏幕生產(chǎn)廠家，臺積電晶圓，光刻機(jī)后道封裝等。

我們檢測項目有含油量檢測，含水量檢測，塵埃粒子檢測，除壓縮空氣之外，高純氧，高純氮檢測也可檢測。

壓縮空氣檢測

簡單而言，芯片制造涉及硅片制備、硅片制造、硅片測試/揀選、裝配與封測、最終測試五大生產(chǎn)階段，彼此獨立，而特種氣體，則或多或少參與到各個環(huán)節(jié)當(dāng)中。

比如，為向反應(yīng)系統(tǒng)提供所需能量，需要通過氣體混合，在硅片表面沉積一層固體膜，這種工藝稱為“化學(xué)氣相沉淀（CVD）"，當(dāng)中常用的特種氣體就有高純氮、硅烷等；又如，高純四氟化碳、高純六氟乙烷等氟基氣體，是刻蝕工藝中所采用的主要介質(zhì)。

按照用途，特種氣體可劃分為摻雜氣、外延氣、離子注入用氣、LED用氣、光刻氣、載運和稀釋氣體等大類。其中，光刻氣是光刻機(jī)產(chǎn)生深紫外激光的光源，不同的光刻氣產(chǎn)生的光源波長不同，直接影響光刻機(jī)的分辨率，是光刻機(jī)的核心之一。

特種氣體在純度、組成、有害雜質(zhì)最高含量、產(chǎn)品包裝貯存等方面均有極其嚴(yán)格的要求，屬于高技術(shù)、高附加值產(chǎn)品。大灣檢測注重在純度，有害雜質(zhì)檢測。如有更多壓縮空氣檢測技術(shù)問題，請咨詢大灣檢測客服。